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产品名称:硅晶片清洗机 产品型号: 产品品牌: 产品产地: 产品单价:议价 最小起订:1/台 发布日期:2020年07月27日 截止日期:2021年07月27日
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※ 用于硅晶片清洗腐蚀;
※ 设备形式: 室内放置型;
※ 控制模式: 手动控制模式 自动控制模式;
※ 清洗能力:2inch、4 inch、6inch、8inch,
2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 尺寸(参考,含地脚):2000 mm(L)× 1500 mm(W)×
2200 mm(H);
※ 工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件;
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※ 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
※ 机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域;
※ 药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统;
※ DI槽配有在线式水质检测装置“ |
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